1、在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100。

2、全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；

3、采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)。

4、强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到佳温度控制精度。